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      在许多先进的半导体元件制造中,化学机械抛光(CMP)是非常很需要的制造技术。化学机械抛光在特定的制造步骤间,让硅晶圆表面达到**的平面化,使更多层电路可以垂直地在元件上制造。PVA海绵具有**的亲水性能和较好的柔韧性,不易划伤硅片,且去除颗粒效果好。PVA海绵在半导体制造业的CMP后清洗中有着重要的应用。
东安开发有限公司的**生产线能生产出具有*优良的机械强度和亲水性能的PVA海绵。ProCleanTM PVA清洁材料的工作原理:在清洁过程中改变PVA(聚乙烯醇)的分子结构,使基片,PVA,水及清洁介质在一定的时间内达到*佳的反应状态,从而保证达到严格的清洁效果。PVA是一种性能**的化学清洁剂的反应介质,正是它给待清洁的基片提供了*强有力的清洁作用,而进行产品表面的擦洗只是辅助PVA对产品进行清洁。
基于ProCleanTM  PVA的工作原理,我们可以为客户设计出*适合其生产设备及生产工艺的PVA清洁产品,ProCleanTM  PVA产品规格齐全。可以用在Amat Amirr Mesa,Lam On-trak,Ebara和SpeedFam-IPEC等CMP机台。可帮助客户制造技 ……
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